深度冷冻技术是当前使用为广泛的空气分离技术，深冷空分的基本工艺流程是：空气从空气吸入塔进入工艺系统，经过加压后，进入空气预冷塔，用冷却水进行冷却，经冷却后的空气送入纯化系统（MS系统），空气经过纯化系统吸附净化后，除去空气中的水分、CO2和乙炔等部分碳氢化合物。目前我国生产的空分设备有生产气态氧、氮的装置，也有生产液态氧、氮的装置。但就基本流程而言，主要有四种，即高压、中压、高低压和全低压流程。经净化的空气在膨胀机中进行膨胀,温度急剧下降。在分馏塔系统中，经前面工段加压、净化、膨胀的空气将实现分离，终得到氧气和氮气。空气分离制氧主要工艺 :1.深冷分离工艺: 。 2.变压吸附工艺(PSA): 3.膜分离工艺

维护及保养：

a、刚开机时，应缓慢开启进气阀门，以防击穿滤芯。

b、 请按滤芯正常使用寿命及时更换。

c、更换滤芯时应将系统内的压力降为零，用专用扳手拧开螺母卸下下体，即可更换。

d、 当发现压差表的指针指向红色区域时，应及时用洁净的压缩空气或氮气回吹，或滤芯。

e. 当发现过滤器内有大里油时,请及时更换滤芯

冷冻干燥机：冷冻式干燥机气源净化原理：利用全封闭压缩式制冷系统，使空压机排出的压缩空气，经过管道过滤器处理后的空气强制冷却降温到5，使其中的水汽迅速达到饱和，并使其大部分凝结成水滴，积聚后由排水器排出，并除去部分油分，使其达到相对干燥。

提到深冷技术在国内的展开， 90年代，模具材料行业领军企业一胜百找到中科院理化所，经过1年时间的研制，台SLX深冷处理箱诞生了，并很快投入到一胜百的实际应用中。随后，理化所又和太原理工大学、兰州理工大学、天津大学、江北机械厂等合作，深冷技术是指-100以下的温度，分为化工行业的气体液化技术，以及材料行业的深冷处理。通常用绝热退磁法可得1K以下的低温。