全球半导体行业稳定向好,中国市场如火如荼也带动了整个洁净室产业的发展。综合来看,三因素决定我国半导体行业的高速发展:

1)国内半导体销售占比和增速远高于全球平均水平,半导体市场消费基数维持高位。

2)我国半导体设备支出占比小增速快,设备市场增长空间大。

3)半导体贸易逆差持续维持1,600亿美元高位,“进口替代”大势所趋。

1. 乱流型:空气从空调箱通过风道和洁净室内的空气滤清器进入洁净室，再从洁净室两侧的隔断墙板或高架地面回风。气流是非线性的，存在不规则的湍流或涡流。适用于1000-100000级洁净室。

优点:结构简单，系统连接成本低，洁净室扩展简单。在一些特殊的使用场所，可采用无尘操作平台来提高洁净室的档次。

缺点:室内空间内乱流形成的粉尘颗粒不易排出，容易污染生产产品。此外，如果系统暂停和重新，将需要很长时间才能达到所需的清洁。

层流:层流气流沿均匀的直线运动。空气通过覆盖率为的过滤器进入室内，再通过两侧升高的地板或隔断板返回室内。适用于洁净室等级要求高的环境。一般来说，洁净室的等级是1-100。它可以分为两种类型:

(1)水平层流型:水平气流由过滤器向一个方向吹出，由对面壁上的回风系统回流，粉尘随风排出房间。一般来说，污染是严重的。

优点:结构简单，运行后短时间内稳定。

缺点:创造成本高于紊流型，室内空间不易扩展。

(2)直线型层流型:房间的天花板全部被ULPA过滤器覆盖，空气从上到下吹，清洁度更高。在不影响其他操作区域的情况下，可快速将操作过程中或操作人员产生的粉尘排出房间。

优点:管理简单，运行初期状态稳定，不容易受到运行状态或操作人员的影响。

缺点:结构造价高，弹性空间难以使用，吊架占用空间合适，维修更换过滤器麻烦。

在工业洁净车间，制药厂是我们经常遇到的工程方案。根据洁净车间GMP要求，应注意几个重要参数。

一、空气分布

洁净车间的配风形式是保证洁净水平的关键因素。目前，规划中经常采用的空气分配形式是根据清洁程度来确定的。例如,300000级洁净工厂经常使用的方法喂养和前返回,100000级和10000级清洁植物通常使用上喂养和下侧的气流方法返回,和更高水平的清洁工厂使用水平或垂直单向流动的方法。二、换气次数

一般空调系统换气次数只需8-10次/小时，而工业洁净车间换气次数较低为12次，较高为数百次。显然，换气次数的差异导致了风量能耗的巨大差异。规划,准确定位的基础上,纯净的水,它是必要的,以确保空气变化的数量来满足需求,否则,一系列的问题,如不合格的操作结果,清洁车间、抗干扰能力差、自洁能力相应的延长将被埋没。

三、静态压差

一系列要求，如洁净车间与不同等级的非洁净车间之间不小于5pa，洁净车间与室外车间之间不小于10Pa等。控制静压差的方法主要是提供一定的正压风量。规划中经常选用的正压设备有剩余压力阀、差压电动风量调节器和回风口安装的空气阻尼层。近年来，在规划中经常采用送风量大于回风量和排风量的方法来代替正压设备，相应的自动控制系统可以达到同样的效果。

清洁承运

可以看出，粉尘浓度高的洁净度低，粉尘浓度低的洁净度高。空气清洁度是评价空气清洁度环境的中心目标。如果空气清洁度设定不准确，就会出现大马拉小车的现象，既不经济也不节能。例如，300000级标准源于药监局的新包装标准。目前在主要产品的生产过程中使用它是不合适的，但在一些辅助房间使用它是很好的。

因此，选择什么样的等级直接关系到产品的质量和经济效益。影响洁净度的尘源主要来自生产过程中物品产生的粉尘、操作工的流动以及室外新鲜空气带来的大气粉尘颗粒。有效手段控制粉尘源进入房间选择关闭排气尘埃的生产工艺设备,除尘设备,粗、中、三级过滤新回风的空调系统和人员通过淋浴房。

五、温度、湿度

除特殊技术外，从采暖、通风、空调等方面来看，主要是保持操作者的舒适性，即适当的温度和湿度。此外,我们应注意几个目标,如横截面风速空气管的进气口,噪音,空气管的横截面风速在进气噪声、照明和新鲜的空气体积,等,不应该被忽视的计划。