钢结构制作、安装的工业化程度高
钢结构的制作主要是在专业化金属结构厂进行,因而制作简便,精度高。制成的构件运到现场安装,装配化程度高,安装速度快,工期短。
密封性
钢材内部组织很致密,当采用焊接连接,甚至采用铆钉或螺栓连接时,都容易做到紧密不渗漏。
耐火性
当钢材表面温度在150℃以内时,钢材的强度变化很小,因此钢结构适用于热车间。当温度超过150 ℃时,其强度明显下降。当温度达到500—600t时,强度几乎为零。所以,发生火灾时,钢结构的耐火时间较短,会发生突然的坍塌。对有特殊要求的钢结构.要采取隔热和耐火措施。
耐腐蚀性
钢材在潮湿环境中,特别是处于有腐蚀性介质环境中容易锈蚀,需要定期维护,增加了维护费用。
净室,又称无尘室、洁净室或清净室,是指一个具有低污染水平的环境,这里所指的污染来源有灰尘,空气传播的微生物,悬浮颗粒,和化学挥发性气体。更准确地讲,一个净室具有一个受控的污染级别,污染级别可用每立方米的颗粒数,或者用颗粒大小来厘定的。低级别的净室通常是没有经过的(如没有受控的微生物),更在意的是净室中的灰尘。
所需的外气较多由于半导体工厂中,制程系统需使用大量的化学品和毒气,这些化学品和毒气所产生的挥发气体和废气必须予以全数排除,故排气量相当大,为维持净室压力比外面的大气压力大,此时所补充的空气量亦随之增加。
空调系统24小时全天运转并监控管理半导体工厂部分制程设备,对温湿度变化极为敏感,如黄光区Stepper光学机台,些微的温、湿度变化均会使设备的准度偏差,另外芯片等产品也必须置放在定温定湿的环境下,故空调系统必须24小时监控管理之。