2L等离子清洗机，石英腔体洁净度高，前面留有直径50mm观察窗，触摸屏控制人机界面。

等离子体清洗的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的"活化作用"达到去除物体表面污渍的目的。等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。

1、可以更灵活地操作，简便地改变处体的种类和处理程序。

2、不会对人员的身体造成任何伤害。

3、其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。

2L等离子清洗机KT-S2DQX

供电电源

AC220V（AC110V可选)

工作电流

整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)

射频电源功率

150W

射频频率

13.56MHz

频率偏移量

＜0.2MHz

特性阻抗

50欧姆，手动匹配

耦合方式

电容耦合

真空度

≤100Pa

腔体材质

高纯石英

腔体容积

2L(内径110MMX深度220MM)

观察窗内径

Φ65

气体流量

10—100ml/min（其他量程可选）

过程控制

过程手动控制

清洗时间

手动开关

开盖方式

铰链侧开式法兰

外形尺寸

400x380x360mm

重量

23Kg

真空室温度

小于65°C

冷却方式

强制风冷

标配

KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。